高純氬氣無色無味無毒氣體。化學性質很不活潑,未形成任何化合物。今天來帶大家簡單了解一下高純氬氣的特點及用途。
高純氬氣在半導體工業(yè)中用作生產高純硅和鍺晶體的保護氣體;可用作系統(tǒng)清洗、屏蔽和增壓用的惰性氣體;在化學氣相沉積、濺射和退火等工藝中有所應用。高純氬氣也可作為色譜載氣。
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如何提高氧氣的純度達到高純級別,有哪些關鍵的技術環(huán)節(jié)?
要提高氧氣純度達到高純級別,關鍵技術環(huán)節(jié)眾多。
一是低溫精餾技術。利用空氣中各成分沸點的差異,在低溫環(huán)境下進行精餾。將空氣液化后,通過準確控制溫度和壓力,使氧氣等成分按沸點先后分離出來,從而獲得高純度氧氣。
二是吸附技術。通過特殊的吸附劑,如分子篩,對空氣中的雜質氣體進行選擇性吸附。吸附劑的微孔結構可以吸附氮氣、二氧化碳等雜質,讓氧氣通過,經過多次吸附循環(huán)可顯著提高氧氣純度。
此外,膜分離技術也很重要。利用具有選擇性透過功能的膜,讓氧氣優(yōu)先透過,阻擋其他氣體,在優(yōu)化膜材料和操作條件下,有助于提升氧氣純度。
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在使用高純氬氣時,如何防止其與其他氣體混合,以確保其純度?
在使用高純氬氣時,確保其純度需要注意以下幾點。
一是氣體輸送系統(tǒng)方面,要使用專門的、密封性良好的管道,如不銹鋼管道,并且管道在安裝前要進行嚴格的清潔和吹掃,去除可能殘留的雜質和其他氣體。管道接口處采用高質量的密封材料和連接方式,如焊接或高質量的密封墊片連接,防止氣體泄漏和外界氣體進入。
二是在使用設備端,要保證設備的氣體入口有良好的單向閥和過濾裝置。單向閥可以阻止其他氣體倒流進入氬氣系統(tǒng),過濾裝置能夠進一步過濾可能混入的雜質顆粒和其他氣體分子。同時,在使用前對整個系統(tǒng)進行抽真空處理,也有助于保持氬氣的純度。
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