勻膠機(jī)
調(diào)速范圍和時(shí)間:I檔:50~10000轉(zhuǎn)/分,時(shí)間0~999s
II檔:50~10000轉(zhuǎn)/分,時(shí)間0~999s適用:直徑5~100mm硅片及其他材料勻膠轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性:±1%膠的均勻性:±2%電極功率:40W,單相110~240V真空泵抽氣速率:>60L/min
頂旭(蘇州)微控技術(shù)有限公司是一家專注于微流控領(lǐng)域的高科技企業(yè),SU8模具加工設(shè)備,我們致力于為客戶提供微流控芯片定制、表面修飾改性、微流控芯片加工設(shè)備、以及微流控儀器等全mian的微流控解決方案。
SU8模具制備流程
1.備片
從化學(xué)品存放區(qū)取出清潔的硅片(確保硅片表面無塵)。
2.勻膠
1)打開勻膠機(jī),將硅片放置在勻膠機(jī)托盤上,打開真空開關(guān),確保硅片固定在托盤上不動(dòng);
2)將SU8光刻膠滴在硅片中間,根據(jù)光刻膠的厚度和制備要求設(shè)置勻膠機(jī)轉(zhuǎn)速和時(shí)間。(舉例說明:目標(biāo)膠厚度50um,光刻膠型號(hào):SU8-2075,1段500轉(zhuǎn)8s,2段1800轉(zhuǎn)30s)
3.前烘
1)將涂布好SU8光刻膠的硅片放置在熱板上,進(jìn)行預(yù)熱烘烤,去除光刻膠中的揮發(fā)性有機(jī)溶ji,時(shí)間和溫度根據(jù)光刻膠厚度進(jìn)行調(diào)整。(舉例說明:目標(biāo)膠厚度50um ,設(shè)置溫度65℃,烘烤15min,然后溫度95度,SU8模具加工設(shè)備公司,烘烤15分鐘)
4.曝光
1)將預(yù)熱后的硅片放置在桌面光刻機(jī)托盤上。
2)使用相應(yīng)的掩模(掩膜)放置在硅片上進(jìn)行曝光,曝光時(shí)間和強(qiáng)度根據(jù)SU-8光刻膠的類型和厚度進(jìn)行調(diào)整。(舉例說明:目標(biāo)膠厚度50um,設(shè)置曝光能量25mw/cm2,時(shí)間12s)
微流控芯片加工設(shè)備: 提供豐富多樣的微流控芯片加工設(shè)備,SU8模具加工設(shè)備,涵蓋SU8模具加工、PDMS芯片加工和玻璃芯片加工??梢詭椭蛻粼谧约旱膶?shí)驗(yàn)室內(nèi)進(jìn)行微流控芯片的快速制作,從而提高實(shí)驗(yàn)效率和靈活性。
SU8模具制備流程
1.后烘
將曝光后的硅片放置在熱板上,進(jìn)行后曝光烘烤,以確保光刻膠的交聯(lián)反應(yīng)完成。(舉例說明:目標(biāo)膠厚度50um,設(shè)置溫度65℃,烘烤7min,然后溫度95℃,烘烤3min)
2.顯影
將硅片放入顯影劑中,使未曝光部分的光刻膠溶解,形成模具的圖案。(顯影時(shí)間根據(jù)光刻膠厚度和顯影劑濃度進(jìn)行調(diào)整,此處顯影時(shí)間20min)
3.清洗
將顯影后的硅片用異丙chun溶劑進(jìn)行清洗,去除多余的光刻膠。
4.檢查
使用顯微鏡檢查制備的SU-8模具,測(cè)試觀察制備的微結(jié)構(gòu)尺寸,確認(rèn)圖案的清晰度和質(zhì)量。
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