干泵;國(guó)外干泵市場(chǎng)的不斷增長(zhǎng),其主要驅(qū)動(dòng)來(lái)自于半導(dǎo)體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展。在日本,半導(dǎo)體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機(jī)械泵,歐美半導(dǎo)體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機(jī)械泵,大大提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求,國(guó)外有多級(jí)羅茨真空泵、多級(jí)爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復(fù)式活塞真空泵以及渦輪式無(wú)油真空泵等。極限壓力從10Pa~10-2Pa,抽速?gòu)?0m3/h~500m3/h。
真空泵的好壞決定于其機(jī)械結(jié)構(gòu)和油的質(zhì)量,使用真空泵時(shí)必須把它保護(hù)好。如果蒸餾揮發(fā)性較大的時(shí),會(huì)被油吸收結(jié)果增加了蒸氣壓,從而降低了抽空效能,如果是酸性氣體,那就會(huì)腐蝕油泵,如果是水蒸氣就會(huì)使油成乳濁液而抽壞真空泵。因此使用真空泵時(shí)必須注意下列幾點(diǎn):在蒸餾系統(tǒng)和真空泵之間,必須裝有吸收裝置。蒸餾前必須用水泵抽去系統(tǒng)中的蒸氣。如能用水泵抽氣的,則盡量用水泵,如蒸餾物質(zhì)中含有揮發(fā)性物質(zhì),可先用水泵減壓抽降,然后改用油泵。減壓系統(tǒng)必須保持密不漏氣,所有的橡皮塞的大小和孔道要合適,橡皮管要用真空用的橡皮管。磨口玻璃涂上真空油脂。
臥式泵的進(jìn)氣口在上,排氣口在下。有時(shí)為了真空系統(tǒng)管道安裝連接方便,可將排氣口從水平方向接出,即進(jìn)、排氣方向是相互垂直的。此時(shí),排氣口可以從左或右兩個(gè)方向開(kāi)口,除接排氣管道一端外,另一端堵死或接旁通閥。這種泵結(jié)構(gòu)低,高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)穩(wěn)定性好。一般大、中型泵多采用此種結(jié)構(gòu)。真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)對(duì)工藝過(guò)程及環(huán)境有無(wú)影響。若工藝過(guò)程不允許,應(yīng)選擇無(wú)振動(dòng)的泵或者采取防振動(dòng)措施。
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