流量控制器的特點
地定量控制流量
質量流量控制器可以地控制氣體的給定量,這對很多工藝過程的流量控制、對于不同氣體的比例控制等特別有用。
適用范圍寬
有很寬的工作壓力范圍,我們的產(chǎn)品可以從真空直到10MPa; 可以適用于多種氣體介質(包括一些腐蝕性氣體,如HCL);有很寬的流量范圍,我們的產(chǎn)品流量范圍可達0~5 sccm,流量范圍可達0~200 slm。流量顯示的分辨率可達滿量程的0.1%, 流量控制范圍是滿量程的2~100% 量程比為-- 50:1,轉子流量計哪家好, 因此在很多領域得到廣泛應用。
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流量控制器
怎樣進行不同氣體的質量流量換算?
產(chǎn)品出廠一般是按氮氣標定﹑按氮氣流量確定流量規(guī)格。用同一規(guī)格的MFM/MFC測量不同的氣體,當流量檢測值相同時,實際的流量值可能不同。我們在說明書中給出了不同氣體相對于標定氣體(氮氣)的質量流量轉換系數(shù)。
如果您使用的產(chǎn)品是標準出廠產(chǎn)品(按氮氣標定顯示),超聲波流量計哪家好,而需要知道實際使用氣體的質量流量時,先在產(chǎn)品說明書中找到實際使用氣體的轉換系數(shù)。在測量過程中,以此系數(shù)乘以流量顯示值即是實際使用氣體的質量流量;反之,在確定所購產(chǎn)品的量程時,以實際使用氣體的期望流量值除以轉換系數(shù),即是相應的氮氣標定產(chǎn)品的流量值。
空氣、O2﹑H2﹑CO﹑HCL、HF等氣體,流量計哪家好,其轉換系數(shù)約為1.0 ,液體質量流量計哪家好, 一般可直接用按氮氣標定顯示的產(chǎn)品,不必換算。
流量控制器的工作壓差范圍是個什么概念?
質量流量控制器(MFC)中設置有一個氣體流量調節(jié)閥門, 閥門能使通過控制器的流量從零調節(jié)到測量的滿量程, 在工作的過程當中, 控制器的入口和出口之間會產(chǎn)生一個氣壓降, 即壓差。MFC的工作壓差范圍通常為0.1~0.3MPa, 若壓差低于值(0.1 MPa), 有可能控制達不到滿量程值; 若高于值(0.3MPa), 有可能關閉時流量不能小于2%F.S。用戶使用MFC時, 無論用戶工作的反應室是真空還是高壓, 應做到使MFC進出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內, 并且要求氣壓要相對穩(wěn)定。
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