半導(dǎo)體設(shè)備泛指用于生產(chǎn)各類半導(dǎo)體產(chǎn)品所需的生產(chǎn)設(shè)備,屬于半導(dǎo)體行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈的關(guān)鍵支撐環(huán)節(jié)。半導(dǎo)體設(shè)備是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的技術(shù)先導(dǎo)者,芯片設(shè)計、晶圓制造和封裝測試等需在設(shè)備技術(shù)允許的范圍內(nèi)設(shè)計和制造,設(shè)備的技術(shù)進步又反過來推動半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。半導(dǎo)體氧化設(shè)備以及一種制造半導(dǎo)體元件的方法,其能夠沿平面方向保持包含在半導(dǎo)體樣品內(nèi)的選擇氧化層的氧化量的均勻性, 并適當(dāng)?shù)乜刂蒲趸俊?p>
今天要講的是一個看起來不起眼但同樣重要的環(huán)節(jié)——清洗。半導(dǎo)體清洗主要是為了去除芯片生產(chǎn)中產(chǎn)生的各種沾污雜質(zhì),半導(dǎo)體氧化設(shè)備價格,是芯片制造中步驟的工藝,幾乎貫穿整個作業(yè)流程。由于芯片的加工過程對潔凈度要求非常高,所有與芯片接觸的媒介都可能對芯片造成污染,半導(dǎo)體設(shè)備零部件的潔凈度的好壞對半導(dǎo)體芯片制程、芯片質(zhì)量的控制影響很大。一種半導(dǎo)體氧化設(shè)備,其配有:由室壁界定的可密封氧化室;設(shè)置于氧化室內(nèi),宿州半導(dǎo)體氧化設(shè)備,并用來支撐半導(dǎo)體樣品的基座;用于向所述氧化室供應(yīng)對所述
半導(dǎo)體樣品的特定部分進行氧化的水蒸汽的供應(yīng)部分;監(jiān)測窗,其設(shè)置于所述氧化室的室壁之一內(nèi),半導(dǎo)體氧化設(shè)備廠家,并且設(shè)置于能夠面對支撐于所述基座上的所述半導(dǎo)體樣品的位置處;監(jiān)測部分,其設(shè)置于所述氧化室之外,并且能夠經(jīng)由所述監(jiān)測窗面對支撐于所述基座上的半導(dǎo)體樣品;以及調(diào)整所述基座和所述監(jiān)測部分之間的距離的調(diào)整部分。
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