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燒結(jié)法： ITO靶材燒結(jié)制作法是在以銦錫氧化物共沉淀粉末或氧化銦和氧錫混合粉末為原料，加入粘結(jié)劑和分散劑混合后，壓力成型，香檳金靶材哪家好，脫脂，然后于1400℃---1600℃燒結(jié)。燒結(jié)法設(shè)備投入少，成本低，河南香檳金靶材，產(chǎn)品密度高、缺氧率低，尺寸大、但制造過程中對粉末的選擇性很強。
ITO靶制備的透明導(dǎo)電薄膜廣泛應(yīng)用于數(shù)碼相機、投影電視、數(shù)碼顯示的各種光學(xué)系統(tǒng)中，需求量都很大。
濺射靶材ITO靶材的生產(chǎn)工藝 ITO靶材的生產(chǎn)工藝可以分為3種：熱等靜壓法(HIP)、濺射靶材熱壓法(HP)和氣氛燒結(jié)法。各種生產(chǎn)工藝及其特點簡介如下：
熱等靜壓法：ITO靶材的熱等靜壓制作過程是將粉末或預(yù)先成形的胚體，在800℃～1400℃及1000kgf/cm 2～2000kgf/cm 2的壓力下等方加壓燒結(jié)。熱等靜壓工藝制造產(chǎn)品密度高、物理機械性能好，但設(shè)備投入高，生產(chǎn)成本高，產(chǎn)品的缺氧率高。
鎢-鈦（W-Ti）膜以及以鎢-鈦（W-Ti）為基的合金膜是高溫合金膜，香檳金靶材價格，具有一系列的優(yōu)良性能。鎢具有高熔點、高強度和低的熱膨脹系數(shù)等性能，W/ Ti 合金具有低的電阻系數(shù)、良好的熱穩(wěn)定性能。如各種器件都需要起到導(dǎo)電作用的金屬布線，例如Al 、Cu 和Ag 等已經(jīng)被廣泛的應(yīng)用和研究。但是布線金屬本身易 氧化、易與周圍的環(huán)境發(fā)生反應(yīng)，香檳金靶材技術(shù)，與介質(zhì)層的粘結(jié)性差，易擴散進入Si 與SiO2 等器件的襯底材料中，并且在較低的溫度下會形成金屬與Si 的化合物， 充當(dāng)了雜質(zhì)的角色，使器件的性能大幅度下降。
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第8年
