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加氫除氧、除氫法
此法分三級(jí),一級(jí)加氫除氧,二級(jí)除氫,三級(jí)除水,獲得下列組成的高純氮:N2≥99.999%,O2≤5×10-6,H2≤5×10-6,H2O≤10.7×10-6。
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高純氮?dú)饽募壹兌雀叩南缿?yīng)急措施是什么呢?下面就由【鄭州瑞安氣體科技有限公司】帶大家了解一下吧。
迅速撤離泄漏污染區(qū)人員至上風(fēng)處,并進(jìn)行隔離,周口高純氮?dú)饽募壹兌雀?,?yán)格限制出入。建議應(yīng)急處理人員戴自給正壓式呼吸器。不要直接接觸泄漏物。盡可能切斷泄漏源。
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在集成電路、半導(dǎo)體和電真空器件制造中用作保護(hù)氣和運(yùn)載氣,化學(xué)氣相淀積時(shí)的載氣,液體擴(kuò)散源的攜帶氣,好品質(zhì)的高純氮?dú)饽募壹兌雀撸诟邷財(cái)U(kuò)散爐中用作器件的保護(hù)氣。
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