噴淋式兆聲噴頭產(chǎn)品概述

兆聲清洗是利用兆赫茲級(jí)別的超高頻超聲波能量去進(jìn)行基材表面亞微米級(jí)顆粒的去除以及化學(xué)反應(yīng)。相比于低頻超聲波空化效應(yīng)，半導(dǎo)體晶圓清洗報(bào)價(jià)，兆聲波空化效應(yīng)可清楚更小的顆粒并且大幅降低對(duì)基材的損傷。東方金榮提供多種類型的兆聲系統(tǒng)以用于CMP化學(xué)機(jī)械拋光、鍵合前清洗、掩膜清洗、顯影、去膠、金屬剝離、濕法刻蝕等多種領(lǐng)域。    Siansonic（東方金榮）噴淋式兆聲清洗噴頭的特點(diǎn)及優(yōu)勢(shì)單點(diǎn)噴淋式兆聲清洗，相比傳統(tǒng)槽式清洗，可解決清洗液二次污染問(wèn)題。極低的超聲空化效應(yīng)，不會(huì)對(duì)器件表面造成損傷超高清洗精度，可去除物體表面0.2微米的污漬顆粒非金屬腐材質(zhì)，適應(yīng)各種酸堿及石英或藍(lán)寶石匹配層技術(shù)，無(wú)雜質(zhì)脫落到器件上的風(fēng)險(xiǎn)的換能器貼合技術(shù)，更高的穩(wěn)定性和耐久性

第三代半導(dǎo)體技術(shù)的兆聲發(fā)生器，實(shí)現(xiàn)數(shù)字化高頻大功率驅(qū)動(dòng)。

超聲波清洗原理

超聲波是一種頻率超出人類聽(tīng)覺(jué)范圍20 kHz以上的聲波。超聲波的傳播要依靠彈性介質(zhì)，其傳播時(shí)，使彈性介質(zhì)中的粒子振蕩，并通過(guò)介質(zhì)按超聲波的傳播方向傳遞能量，這種波可分為縱向波和橫向波。在固體內(nèi)，兩者都可以傳送，而在氣體和液體內(nèi)，只有縱向波可以傳送。超聲波能夠引起質(zhì)點(diǎn)振動(dòng)，質(zhì)點(diǎn)振動(dòng)的加速度與超聲頻率的平方成正比。因此，幾十千赫茲的超聲會(huì)產(chǎn)生極大的作用力，強(qiáng)超聲波在液體中傳播時(shí)，由于非線性作用，會(huì)產(chǎn)生聲空化。在空化氣泡突然閉合時(shí)發(fā)出的沖擊波可在其周圍產(chǎn)生上千個(gè)大氣壓力，對(duì)污層的直接反復(fù)沖擊，一方面破壞污物與清洗件表面的吸附，半導(dǎo)體晶圓清洗，另一方面也會(huì)引起污物層的破壞而脫離清洗件表面并使它們分散到清洗液中。氣泡的振動(dòng)也能對(duì)固體表面進(jìn)行擦洗。氣泡還能“鉆入”裂縫中做振動(dòng)，使污物脫落。對(duì)于有油脂性污物，由于超聲空化作用，兩種液體在界面迅速分散而乳化，半導(dǎo)體晶圓清洗價(jià)格，當(dāng)固體粒子被油污裹著而粘附在清洗件表面時(shí)，油被乳化，固體粒子即脫落?？栈瘹馀菰谡駝?dòng)過(guò)程中會(huì)使液體本身產(chǎn)生環(huán)流，即所謂聲流。他可使振動(dòng)氣泡表面存在很高的速度梯度和粘滯應(yīng)力，促使清洗件表面污物的破壞和脫落，超聲空化在固體和液體表面上所產(chǎn)生的高速微射流能夠除去或削弱邊界污層，腐蝕固體表面，增加攪拌作用，加速可溶性污物的溶解，半導(dǎo)體晶圓清洗哪家好，強(qiáng)化化學(xué)清洗劑的清洗作用。此外，超聲振動(dòng)在清洗液中引起質(zhì)點(diǎn)很大的振動(dòng)速度和加速度，亦使清洗件表面的污物受到頻繁而激烈的沖擊。

超聲波清洗新發(fā)展

隨著應(yīng)用范圍的擴(kuò)大，超聲波清洗技術(shù)也有了新的發(fā)展。傳統(tǒng)的超聲波清洗設(shè)備由于自動(dòng)化程度不高而難以保證零件清洗的均勻性，近年來(lái)逐漸出現(xiàn)了自動(dòng)化程度高、靈活性強(qiáng)的自動(dòng)化超聲波清洗設(shè)備。不但實(shí)現(xiàn)了超聲波清洗的自動(dòng)化控制和批量作業(yè)，還穩(wěn)定了清洗工藝、提高了清洗質(zhì)量。這類超聲波清洗設(shè)備將超聲波清洗和化學(xué)清洗、漂洗、脫水、烘干等工藝結(jié)合，因而有非常高的清洗效率。在傳動(dòng)、烘干、清洗方面通常使用PLC控制，實(shí)現(xiàn)了清洗過(guò)程的全自動(dòng)化。

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