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注意不要損傷連接處的包裝。在所有的連接和吻合處標注縫線。卸下的部件需要防塵處理。特別主要保護好密封零部件,齒輪以及軸承。
在許多化工企業(yè),真空設備如同水、電和壓縮空氣一樣是不可缺少的公共設施。真空通常用以去除空氣或水蒸汽,以防止對工藝過程產(chǎn)生干擾,真空還可以提高反應過程的效率以及重要化合物的回收率。
總體安裝注意事項
①、安裝前應檢查分子泵運輸中是否被損壞。
?、?、打開泵高真空端法蘭蓋板,戴好手套,撥動渦輪轉(zhuǎn)子,應轉(zhuǎn)動靈活,無異常現(xiàn)象。
?、?、安裝環(huán)境應符合技術要求和真空衛(wèi)生要求。
?、堋⒋_認防護網(wǎng)已安裝,特殊情況下定做特殊防護網(wǎng)。
⑤、確認已裝入潤滑油。
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分子泵所抽的汽體假如帶有較多的可凝氣體(如水蒸氣,溶劑等),濃度較高的的co2、腐蝕汽體,或是等,必須加配吹掃閥(PurgeValve),工作中全過程中運用吹掃氣(一般為干躁N2)不斷對滾動軸承開展吹掃,以做到防護空氣污染物,維護滾動軸承的目地。真空泵維修生產(chǎn)廠家
運轉(zhuǎn)中的旋片式真空泵,如果操作不當,往往會出現(xiàn)故障,譬如旋片式真空泵真空度下降,噴油、冒煙、油封處漏油,噪音等情況,和泵內(nèi)的真空泵油乳化等現(xiàn)象。萬一出現(xiàn)這種情況,首先不用恐慌,等停機以后根據(jù)故障一一排除。這里介紹幾個排除故障的方法。
渦輪增壓器分子泵的發(fā)電機轉(zhuǎn)子葉片具有***的模樣,在它以20000~30000r/min的高速運行的此外,葉片將角動量發(fā)給氣體分子式。葉片高速運行,其周邊的角速度一般200~300m/s,相當于汽體分子式平均速率的一半。便于獲得高機械泵,渦輪增壓器分子泵中裝有多級別。
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旋片式真空泵設備潤滑系統(tǒng)完好,shimadzu進口真空泵的配件,潤滑油質(zhì)符合規(guī)定要求,并定期進行檢查,換油。各種儀表(如真空表等)指示值正確,并定期進行校驗;各閥門啟閉靈活、密封良好,無泄漏現(xiàn)象;管道無泄漏,并定期進行檢查。電動機配備合理,運行正常(溫升和聲響正常),電氣線路an全可靠,有接地保護措施,電氣裝置(控制柜)可靠,電氣儀表指示正確;安全防護裝置齊全可。設備及冷卻系統(tǒng)設施整潔,無銹蝕。水環(huán)式真空泵冷卻系統(tǒng)運行正常,冷卻裝置完好,排水溫度不超過規(guī)定要求,應有斷水保護裝置。
一般來說所用的工作液都是水。礦用單軸振動篩作用在轉(zhuǎn)子葉輪上的能量被液體接收并傳給被壓縮的氣體,這樣就造成了水環(huán)的溫度升高。水環(huán)的部分水與氣體一起壓縮排除泵外。在壓縮過程中產(chǎn)生的大部分熱量被帶走。因而需要不斷的補充新鮮的水,以使水環(huán)泵的工作溫度能夠維持恒定。
電子與微電子工業(yè):微電子技術要求電子元器件和電路的尺寸越來越小,集成度要求越來越高。這與真空技術的應用密不可分,特別是超大規(guī)模集成電路的微細加工技術,其幾何圖形結(jié)構(gòu)的形成、超薄層生長技術、粒子束注入技術都需要高質(zhì)量、清潔的真空環(huán)境,可見其發(fā)展對真空技術、裝備的依存性。目前,日本真空廠商的銷售額中60%左右是面向電子工業(yè),而當今的超大規(guī)模集成電路大約有3/4的工序需要有真空條件。
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