高純二氧化碳管內(nèi)氣體不流通該怎么處理,一定要了解清楚,下面隨著我一起來了解一下吧,希望下面的信息可以給你帶來幫助!
當(dāng)高純二氧化碳管內(nèi)氣流為不連續(xù)流動時,管材對所通過的高純二氧化碳?xì)怏w形成壓力下吸附,氣流停止通過時,管材所吸附的高純二氧化碳?xì)怏w又形成解析,而解析的高純二氧化碳?xì)怏w同樣作為雜質(zhì)進(jìn)入管內(nèi)純凈氣體中。
為滿足不同的使用要求,選用不同廠家不同純度的氣源后,可以通過氣體凈化處理滿足分析要求,對于不同雜質(zhì)的氣體采用何種凈化方法和裝置,留待以后再加以討論。倉庫需由專人管理,空瓶高純二氧化碳與滿瓶兩者須分開存放,保證標(biāo)識及紅色膠塞的原位完好,不可隨意摘除和更換;
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高純二氧化碳配管及管道、附件材料該怎么選擇,這個選擇有什么技巧嗎?下面隨著我一起來了解一下吧,希望下面的信息可以給你帶來幫助!
半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)因其生產(chǎn)工藝復(fù)雜 、加工精細(xì) ,它不僅要求有潔凈的生產(chǎn)環(huán)境 , 而且對生產(chǎn)過程中所需的各種高純氣體有特定的、嚴(yán)格的要求。
從微米 技術(shù)進(jìn)入亞微米 、深亞微米 (小于0.35um )技術(shù),對高純二氧化碳?xì)怏w中的雜質(zhì)含量、水含量要求極為嚴(yán)格 ,10-6 (ppm 級 ) 已經(jīng)不能達(dá)到要求。
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當(dāng)高純二氧化碳管內(nèi)氣流為不連續(xù)流動時,管材對所通過的高純二氧化碳?xì)怏w形成壓力下吸附,氣流停止通過時,管材所吸附的高純二氧化碳?xì)怏w又形成解析,而解析的高純二氧化碳?xì)怏w同樣作為雜質(zhì)進(jìn)入管內(nèi)純凈氣體中。同時,吸附、解析周而復(fù)始,使得管材內(nèi)表面金屬也會產(chǎn)生一定的粉末,這種金屬粉塵粒子同樣污染管內(nèi)純凈的氣體。
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