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EMMI可廣泛應(yīng)用于偵測(cè)各種組件缺陷所產(chǎn)生的漏電流,包括閘極氧化層缺陷(Gate oxide defects)、靜電放電破壞(ESD Failure)、閂鎖效應(yīng)(Latch Up)、漏電(Leakage)、接面漏電(Junction Leakage) 、順向偏壓(Forward Bias)及在飽和區(qū)域操作的晶體管,可藉由EMMI定位,找熱點(diǎn)(Hot Spot 或找亮點(diǎn))位置,進(jìn)而得知缺陷原因,幫助后續(xù)進(jìn)一步的失效分析。

紅外光顯微鏡在生物學(xué)中的應(yīng)用范圍是有限的。當(dāng)用可見(jiàn)光觀察不透明的某些物體時(shí),在較溉的紅外光區(qū)域就會(huì)變得透明,這種效應(yīng)已經(jīng)被用于研究在某些昆蟲(chóng)中發(fā)現(xiàn)的滲入黑色素的甲殼質(zhì)層。但是,某些有機(jī)物質(zhì)在2-30微米波長(zhǎng)范圍內(nèi)的吸收特性實(shí)際上并沒(méi)有應(yīng)用到生物學(xué)物質(zhì)的定性和定量的顯微研究中,化學(xué)開(kāi)封機(jī)價(jià)格,除了儀器和像的記錄問(wèn)題而外,開(kāi)封機(jī),也由于在這種波長(zhǎng)范圍內(nèi)分辨力的損失已經(jīng)變得十分引人注目。一個(gè)數(shù)值孔徑為0.6物鏡的小分辨距離大約與所使用的光線的波長(zhǎng)是相等的,等離子開(kāi)封機(jī),這就意味著使用一個(gè)這樣孔徑的反射物鏡,以波長(zhǎng)為10μm的紅外光觀察一個(gè)直徑為10μm左右的細(xì)胞幾乎是不可能的。

偵測(cè)到亮點(diǎn)之情況;

會(huì)產(chǎn)生亮點(diǎn)的缺陷:1.漏電結(jié);2.解除毛刺;3.熱電子效應(yīng);4閂鎖效應(yīng); 5氧化層漏電;6多晶硅須;7襯底損失;8.物理?yè)p傷等。 偵測(cè)不到亮點(diǎn)之情況 不會(huì)出現(xiàn)亮點(diǎn)之故障:1.亮點(diǎn)位置被擋到或遮蔽的情形(埋入式的接面及 大面積金屬線底下的漏電位置);2.歐姆接觸;3.金屬互聯(lián)短路;4.表面 反型層;5.硅導(dǎo)電通路等。

點(diǎn)被遮蔽之情況:埋入式的接面及大面積金屬線底下的漏電位置,這種情 況可采用Backside模式,但是只能探測(cè)近紅外波段的發(fā)光,且需要減薄及 拋光處理。

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