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旋片泵主要由泵體、轉(zhuǎn)子、旋片、端蓋、彈簧等組成。在旋片泵的腔內(nèi)偏心地安裝一個(gè)轉(zhuǎn)子,轉(zhuǎn)子外圓與泵腔內(nèi)表面相切(二者有很小的間隙),轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有帶彈簧的二個(gè)旋片。旋轉(zhuǎn)時(shí),靠離心力和彈簧的張力使旋片頂端與泵腔的內(nèi)壁保持接觸,轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)旋片沿泵腔內(nèi)壁滑動(dòng)。進(jìn)口真空泵維修
電子束蒸發(fā)鍍膜需要高真空環(huán)境!
電子束蒸發(fā)法是在真空條件下利用電子束進(jìn)行直接加熱蒸發(fā)材料, 使蒸發(fā)材料氣化并向基板輸運(yùn), 在基底上凝結(jié)形成薄膜的方法. 常見于半導(dǎo)體科研工業(yè)領(lǐng)域. 利用加速后的電子能量打擊材料標(biāo)靶, 使材料標(biāo)靶蒸發(fā)升騰. *終沉積到目標(biāo)上.進(jìn)口真空泵維修
在蒸發(fā)鍍膜設(shè)備中, 真空鍍膜室的本底真空度要求較高, 一般真空度越高, 腔室內(nèi)雜質(zhì)氣體的量越少, 鍍膜材料在沉積到基片上的過程中, 與環(huán)境中的雜質(zhì)氣體碰撞變少, 粒子的能量大, 可以在基片上形成更致密均勻的膜, 由于分子泵的無油和高真空特性, 逐漸取代了有油的擴(kuò)散泵成為*普遍的真空系統(tǒng),進(jìn)口真空泵維修
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氦質(zhì)譜檢漏儀分子泵故障及處理
1、儀器界面上TMP顯示“0”即分子泵沒有工作
有可能是前級(jí)壓力過高(該分子泵的啟動(dòng)壓力為200Pa)導(dǎo)致分子泵無法啟動(dòng)。檢查導(dǎo)致壓力過高的項(xiàng)目有:真空規(guī)管是否有問題,分子泵出口是否打開,機(jī)械泵油是否太臟或機(jī)械泵是否轉(zhuǎn)動(dòng),系統(tǒng)是否有泄漏。也有可能是分子泵的葉片或轉(zhuǎn)子被損害,可自行用工具撥動(dòng)葉片,判斷其能否轉(zhuǎn)動(dòng)。
2、分子泵加速指示燈不亮
電路板上的保險(xiǎn)絲燒斷,更換保險(xiǎn)絲或檢查是否有短路現(xiàn)象。
3、分子泵故障燈亮
檢查電路板設(shè)置開關(guān)是否處于R位置,此時(shí)應(yīng)該在N位置。檢查風(fēng)扇是否停止,如風(fēng)扇正常,則可能為氦質(zhì)譜檢漏儀分子泵電源故障。
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廣州潽拓光電科技有限公司——varian分子泵維修要多少錢 真空渦輪分子泵維修
當(dāng)終止分子泵,請(qǐng)先得出關(guān)機(jī)命令(STOP),待分子泵降速完畢,ROTATION顯示燈滅掉(液晶顯示器上顯示信息STOP,及轉(zhuǎn)速比顯示信息為0%),確定分子泵早已徹*終止,才能夠斷電。如必須拆裝線纜,在如上述情況一切正常關(guān)機(jī)并關(guān)閉開關(guān)電源后,才能夠拆下來線纜,分子泵在一切正常運(yùn)行時(shí)肯定不可以拔下電纜線電源插頭。 真空渦輪分子泵維修
真空泵的工作原理是利用偏心轉(zhuǎn)子在泵腔內(nèi)形成通過旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生體積的交化而將體排出泵外,主要是在吸氣過程中,吸氣腔體積增大,真空度降低,將容器內(nèi)氣體吸入泵腔,在排氣過程中體積變小,壓強(qiáng)增大, 終通過油封將吸入的氣體排出泵外。作用:真空泵的作用是產(chǎn)生負(fù)壓,從而增加制動(dòng)力。 真空渦輪分子泵維修
通常而言,處理真空泵廢氣有3種方法,第*種就是碳吸附法,由于其特殊的性質(zhì),表面積大,吸附能力強(qiáng),活性炭被廣泛應(yīng)用于過濾場(chǎng)景,過濾水、氣味等,varian分子泵維修要多少錢,經(jīng)過長(zhǎng)時(shí)間的吸附后,吸附容積飽和,將停止吸附,失去過濾能力,因此用此方法需要頻繁更換。
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