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江蘇潤(rùn)璽環(huán)保設(shè)備有限公司

主營(yíng):電鍍?cè)O(shè)備,清洗設(shè)備,水處理設(shè)備,廢氣處理設(shè)備,自動(dòng)化設(shè)備

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  • 物流說(shuō)明 : 貨運(yùn)及物流
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使用過(guò)程產(chǎn)品: AquaVantage 815 GD濃度: 10%溫度: 131-140°F (55°C)設(shè)備: 2 套單獨(dú)的清洗流程, 200L 超聲波設(shè)備,江蘇半導(dǎo)體氧化設(shè)備, 4000L 浸沒(méi)設(shè)備。沖洗: 3 個(gè)階段: 自來(lái)水, 去離子水以及終的去離子水. 所有的沖洗需要在接近 22 – 25°C的環(huán)境進(jìn)行.通過(guò)一個(gè)閉環(huán)去離子水系統(tǒng)(水通過(guò)去離子水床的連續(xù)循環(huán)),半導(dǎo)體氧化設(shè)備廠家,終的沖洗被控制在至少4兆歐姆的電阻率。結(jié)論: 具有持續(xù)良好的清潔能力 。BHC 的優(yōu)勢(shì): 的排氣性能和清洗部件能力。使用BRULIN815GD清洗的半導(dǎo)體設(shè)備零部件,為更好地去除水分和揮發(fā)極低的有機(jī)物,要需零部件進(jìn)行后處理:在惰性氣體、真空度為0.13Pa、設(shè)定溫度為500K(227°)的烘烤箱進(jìn)行烘烤,進(jìn)行裝配。

隨著半導(dǎo)體芯片工藝技術(shù)節(jié)點(diǎn)進(jìn)入 28 納米、14 納米等更等級(jí),工藝流程的延長(zhǎng)且越趨復(fù)雜,半導(dǎo)體設(shè)備,產(chǎn)線成品率也會(huì)隨之下降。造成這種現(xiàn)象的一個(gè)原因就是制程對(duì)雜質(zhì)的敏感度更高,小尺寸污染物的清洗更困難。解決的方法主要是增加清洗步驟。每個(gè)晶片在整個(gè)制造過(guò)程中需要甚至超過(guò) 200 道清洗步驟,晶圓清洗變得更加復(fù)雜、重要及富有挑戰(zhàn)性。

今天要講的是一個(gè)看起來(lái)不起眼但同樣重要的環(huán)節(jié)——清洗。半導(dǎo)體清洗主要是為了去除芯片生產(chǎn)中產(chǎn)生的各種沾污雜質(zhì),半導(dǎo)體氧化設(shè)備供應(yīng)商,是芯片制造中步驟的工藝,幾乎貫穿整個(gè)作業(yè)流程。由于芯片的加工過(guò)程對(duì)潔凈度要求非常高,所有與芯片接觸的媒介都可能對(duì)芯片造成污染,半導(dǎo)體設(shè)備零部件的潔凈度的好壞對(duì)半導(dǎo)體芯片制程、芯片質(zhì)量的控制影響很大。

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