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氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng)是一種高靈敏度的泄漏檢測設(shè)備，利用了氦氣的流動性和質(zhì)量大于氮氣、氧氣等氣體這一特性。該系統(tǒng)的是He特性的性及N2-Ar混合物的配比關(guān)系，對于壓力范圍0.5~8大氣壓，在很小的泄露量下就能探測出來（小于1Pa·m3/s）。此外還配備了真空泵對測試工件進(jìn)行抽空處理，將工作空間的工作壓力降低到規(guī)定的要求參數(shù)值內(nèi)；電器控制系統(tǒng)負(fù)責(zé)整個試驗過程的操作和調(diào)節(jié)控制；而示差式電路不但能根據(jù)被測樣品放出的低頻成分來校正測量結(jié)果而且還能使儀表具有自動反吸功能。
氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng)是一種用于檢測和測量容器和管道內(nèi)部氣體泄漏的儀器。它的工作原理是利用氦氣在不同濃度下的特征響應(yīng)來檢測漏點。具體來說，系統(tǒng)包含一個充滿氦氣的容器和一個檢測器。當(dāng)容器內(nèi)的氦氣濃度發(fā)生變化時，其特征響應(yīng)會發(fā)生變化。通過檢測這些變化，系統(tǒng)就可以確定容器內(nèi)是否存在泄漏。系統(tǒng)通常包含多個傳感器，每個傳感器都可以檢測不同的氦氣濃度。當(dāng)傳感器檢測到氦氣濃度發(fā)生變化時，氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng)，它會將信號發(fā)送給系統(tǒng)的控制器?？刂破鲿鶕?jù)設(shè)定的閾值來確定是否存在泄漏，并決定是否需要打開排氣裝置來排除泄漏?？偟膩碚f，氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng)是一種非常有效的檢測氣體泄漏的方法。它可以檢測到微小的泄漏，并且準(zhǔn)確度高，是石油和化工行業(yè)等領(lǐng)域中廣泛使用的一種儀器。
氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng)是一種高靈敏度的泄漏檢測設(shè)備，其原理基于帶電粒子在磁場中的偏轉(zhuǎn)以及氣體分子對電磁輻射的吸收。該系統(tǒng)的部件是氦離子源和質(zhì)譜儀。當(dāng)需要檢查的對象內(nèi)部存在微小壓力時，可以使用液態(tài)惰性氣體作為示蹤劑（例如：氦氣），通過管道進(jìn)入待測對象內(nèi)并被稀釋到很低濃度后從密封區(qū)域中逸出形成一定的背景放散率Rb。此時可以通過測量總釋放量Ra來判斷泄露是否發(fā)生，若Ra>Rb+ΔR且ΔR足夠小時則認(rèn)為發(fā)生了泄露[1]。
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