半導(dǎo)體常用失效分析檢測(cè)儀器;
顯微鏡分析OM無(wú)損檢測(cè)
金相顯微鏡OM:可用來(lái)進(jìn)行器件外觀及失效部位的表面形狀,尺寸,結(jié)構(gòu),缺陷等觀察。金相顯微鏡系統(tǒng)是將傳統(tǒng)的光學(xué)顯微鏡與計(jì)算機(jī)(數(shù)碼相機(jī))通過(guò)光電轉(zhuǎn)換有機(jī)的結(jié)合在一起,不僅可以在目鏡上作顯微觀察,紹興超聲檢測(cè),還能在計(jì)算機(jī)(數(shù)碼相機(jī))顯示屏幕上觀察實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)圖像,超聲檢測(cè)設(shè)備,電腦型金相顯微鏡并能將所需要的圖片進(jìn)行編輯、保存和打印。金相顯微鏡可供研究單位、冶金、機(jī)械制造工廠以及高等工業(yè)院校進(jìn)行金屬學(xué)與熱處理、金屬物理學(xué)、煉鋼與鑄造過(guò)程等金相試驗(yàn)研究之用,實(shí)現(xiàn)樣品外觀、形貌檢測(cè) 、制備樣片的金相顯微分析和各種缺陷的查找等功能。
偵測(cè)到亮點(diǎn)之情況;
會(huì)產(chǎn)生亮點(diǎn)的缺陷:1.漏電結(jié);2.解除毛刺;3.熱電子效應(yīng);4閂鎖效應(yīng); 5氧化層漏電;6多晶硅須;7襯底損失;8.物理?yè)p傷等。 偵測(cè)不到亮點(diǎn)之情況 不會(huì)出現(xiàn)亮點(diǎn)之故障:1.亮點(diǎn)位置被擋到或遮蔽的情形(埋入式的接面及 大面積金屬線底下的漏電位置);2.歐姆接觸;3.金屬互聯(lián)短路;4.表面 反型層;5.硅導(dǎo)電通路等。
點(diǎn)被遮蔽之情況:埋入式的接面及大面積金屬線底下的漏電位置,這種情 況可采用Backside模式,但是只能探測(cè)近紅外波段的發(fā)光,且需要減薄及 拋光處理。
EMMI微光顯微鏡
微光顯微鏡(Emission Microscope, EMMI)是常用漏電流路徑分析手段。對(duì)于故障分析而言,超聲檢測(cè)儀器價(jià)格,微光顯微鏡(Emission Microscope, EMMI)是一種相當(dāng)有用且效率極高的分析工具。主要偵測(cè)IC內(nèi)部所放出光子。在IC元件中,EHP(Electron Hole Pairs)Recombination會(huì)放出光子(Photon)。如在P-N結(jié)加偏壓,此時(shí)N阱的電子很容易擴(kuò)散到P阱,超聲檢測(cè)廠家,而P的空穴也容易擴(kuò)散至N,然后與P端的空穴(或N端的電子)做EHP Recombination。在故障點(diǎn)定位、尋找近紅外波段發(fā)光點(diǎn)等方面,微光顯微鏡可分析P-N接面漏電;P-N接面崩潰;飽和區(qū)晶體管的熱電子;氧化層漏電生的光子激發(fā);Latch up、Gate Oxide Defect、Junction Leakage、Hot Carriers Effect、ESD等問(wèn)題.
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