貼合式兆聲清洗
頭貼近被清洗物,清洗效率更大程度減少清洗液使用量清洗精度高,晶圓清洗哪家好,可去除0.2微米的污漬顆粒超低的聲空化效應(yīng),不損傷器件表面石英或藍(lán)寶石耦合技術(shù),無(wú)雜質(zhì)脫落風(fēng)險(xiǎn)腐性,可耐各種酸堿溶液及。
兆聲清洗利用兆赫茲級(jí)別的超高頻超聲波能量推動(dòng)基材表面亞微米級(jí)顆粒的去除以及化學(xué)反應(yīng)。相比于低頻超聲波空化效應(yīng),兆聲波空化效應(yīng)可清除更小的顆粒并且大幅降低對(duì)基材的損傷。
超聲波清洗發(fā)展
近年來(lái)還出現(xiàn)了超聲波清洗的一種特殊應(yīng)用-超聲波除垢。超聲波除垢主要是利用超聲波強(qiáng)聲場(chǎng)處理流體,晶圓清洗報(bào)價(jià),使流體中成垢物質(zhì)在超聲場(chǎng)的作用下的物理形態(tài)和化學(xué)性能發(fā)生一系列變化,使之分散、粉碎、松散、松脫而不易附著管、器壁形成積垢。作為超聲清洗的特殊應(yīng)用,晶圓清洗多少錢,超聲防垢廣泛應(yīng)用在鍋爐、熱交換裝置和管道防垢、除垢領(lǐng)域。
噴淋式兆聲噴頭產(chǎn)品概述
兆聲清洗是利用兆赫茲級(jí)別的超高頻超聲波能量去進(jìn)行基材表面亞微米級(jí)顆粒的去除以及化學(xué)反應(yīng)。相比于低頻超聲波空化效應(yīng),兆聲波空化效應(yīng)可清楚更小的顆粒并且大幅降低對(duì)基材的損傷。東方金榮提供多種類型的兆聲系統(tǒng)以用于CMP化學(xué)機(jī)械拋光、鍵合前清洗、掩膜清洗、顯影、去膠、金屬剝離、濕法刻蝕等多種領(lǐng)域。 Siansonic(東方金榮)噴淋式兆聲清洗噴頭的特點(diǎn)及優(yōu)勢(shì)單點(diǎn)噴淋式兆聲清洗,山東晶圓清洗,相比傳統(tǒng)槽式清洗,可解決清洗液二次污染問(wèn)題。極低的超聲空化效應(yīng),不會(huì)對(duì)器件表面造成損傷超高清洗精度,可去除物體表面0.2微米的污漬顆粒非金屬腐材質(zhì),適應(yīng)各種酸堿及石英或藍(lán)寶石匹配層技術(shù),無(wú)雜質(zhì)脫落到器件上的風(fēng)險(xiǎn)的換能器貼合技術(shù),更高的穩(wěn)定性和耐久性
第三代半導(dǎo)體技術(shù)的兆聲發(fā)生器,實(shí)現(xiàn)數(shù)字化高頻大功率驅(qū)動(dòng)。
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