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科銳諾生物(多圖)-花藥掃描電鏡檢測技術(shù)服務(wù)

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可進(jìn)行綜合分析。裝上波長色散X射線譜儀(WDX)或能量色散X射線譜儀(EDX),使具有電子探針的功能,也能檢測樣品發(fā)出的反射電子、X射線、陰極熒光、透射電子、俄歇電子等。把掃描電鏡擴(kuò)大應(yīng)用到各種顯微的和微區(qū)的分析方式,顯示出了掃描電鏡的多功能。另外,還可以在觀察形貌圖象的同時(shí),對樣品任選微區(qū)進(jìn)行分析;裝上半導(dǎo)體試樣座附件,通過電動勢象放大器可以直接觀察晶體管或集成電路中的PN結(jié)和微觀缺陷。由于不少掃描電鏡電子探針實(shí)現(xiàn)了電子計(jì)算機(jī)自動和半自動控制,因而大大提高了定量分析的速度。

擴(kuò)散泵的工作原理是用電爐將特種擴(kuò)散泵油加熱至蒸汽 狀態(tài),高溫油蒸汽膨漲向上升起,靠油蒸汽吸附電鏡鏡體內(nèi)的氣體,從噴嘴朝著擴(kuò)散泵內(nèi)壁射出,在環(huán)繞擴(kuò)散泵外壁的冷卻水的強(qiáng)制降溫下,油蒸汽冷卻成液體時(shí)析出氣體排至泵外,由機(jī)械泵抽走氣體,油蒸汽冷卻成液體后靠重力回落到加熱電爐上的油槽里循環(huán)使用。擴(kuò)散泵的抽氣速度很快,約為每秒鐘570L左右,工作能力也較強(qiáng),可達(dá)10~10Pa。但它只能在氣體分子較稀薄時(shí)使用,這是由于氧氣成分較多時(shí)易 使高溫油蒸氣燃燒,所以擴(kuò)散泵通常與機(jī)械泵串聯(lián)使用,花藥掃描電鏡檢測技術(shù)服務(wù),在機(jī)械泵將鏡筒真空度抽到一定程度時(shí),才啟動擴(kuò)散泵。

為什么會出現(xiàn)這樣奇怪的現(xiàn)象?為什么更好的分辨率卻沒有得到更真實(shí)的圖像?前面我們已經(jīng)說到,電子束是由掃描線圈的脈沖信號控制,電子束在試樣表面并不是連續(xù)掃描,而是逐點(diǎn)跳躍式的掃描。一般掃描電鏡的采集像素比較大,我們會誤以為是連續(xù)掃描。既然掃描電鏡是束斑間斷跳躍式的軌跡,那么電子束就有一定的覆蓋面積。

束斑中心的距離取決于放大倍數(shù)和采集像素大小。當(dāng)束斑較大時(shí),束斑覆蓋比較;但是當(dāng)束斑減小時(shí),束斑的覆蓋區(qū)域也越來越小,所以有的特征形貌會從束斑兩個跳躍中心穿過而沒有被覆蓋到,所以相應(yīng)的形貌特征也不會反映在圖像上,這就造成了信息的丟失。像上述例子,在大倍數(shù)小,束斑之間跳躍間距小,足夠覆蓋特征形貌,但是縮小倍數(shù)后,跳躍距離變大,束斑不足以覆蓋所有的特征形貌,有的線條就反映不出來。

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