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透射電鏡的總體工作原理是:由電子發(fā)射出來的電子束,在真空通道中沿著鏡體光軸穿越聚光鏡,通過聚光鏡將之會聚成一束尖細、明亮而又均勻的光斑,照射在樣品室內(nèi)的樣品上;透過樣品后的電子束攜帶有樣品內(nèi)部的結構信息,生物掃描電鏡檢測技術服務,樣品內(nèi)致密處透過的電子量少,稀疏處透過的電子量多;經(jīng)過物鏡的會聚調(diào)焦和初級放大后,電子束進入下級的中間透鏡和、第2投影鏡進行綜合放大成像,終被放大了的電子影像投射在觀察室內(nèi)的熒光屏板上;熒光屏將電子影像轉化為可見光影像以供使用者觀察。本節(jié)將分別對各系統(tǒng)中的主要結構和原理予以介紹。

C1、C2的工作原理是通過改變聚光透鏡線圈中的電流,來達到改變透鏡所形成的磁場強度的變化,磁場強度的變化(亦即折射率發(fā)生變化)能使電子束的會聚點上下移動,在樣品表面上電子束斑會聚得越小,能量越集中,亮度也越大;反之束斑發(fā)散,照射區(qū)域變大則亮度就減小。通過調(diào)整聚光鏡電流來改變照明亮度的方法,實際上是一個間接的調(diào)整方法,亮度的大值受到電子束流量的限制。如想更大程度上改變照明亮度,只有通調(diào)整前面提到的電子qiang中的柵極偏壓,才能從根本上改變電子束流的大小。在C2上通常 裝配有活動光闌,用以改變光束照明的孔徑角,一方面可以限制投射在樣品表面的照明區(qū)域,使樣品上無需觀察的部分免受電子束的轟擊損傷;另一方面也能減少散射電子等不利信號帶來的影響。

由于電子束射入樣品時會發(fā)生布拉格散射,樣品的衍射對比度信息會由電子束攜帶出來。例如晶體樣品會將電子束散射至后焦平面上離散的點上。通過將光圈放置在后焦平面上,可以選擇合適的反射電子束以觀察到需要的布拉格散射的圖像。通常僅有非常少的樣品造成的電子衍射會投影在成像設備上。如果選擇的反射電子束不包括位于透鏡焦點的未散射電子束,那么在圖像上沒有樣品散射電子束的位置上,也就是沒有樣品的區(qū)域將會是暗的。這樣的圖像被稱為暗場圖像。

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